超高质量二维材料转移系统

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1.四轴可调衬底载物平台；

2.衬底载物平台加热：常温-200℃； 

3.支持真空自动吸附样品，确保转移过程中目标样品位置精确固定；真空泵电磁阀控制，按钮控制吸附样品； 

4.样品台具有水冷功能，能实现迅速降温； 

5.电动面内旋转模块及控制器，最小旋转精度 0.005度； 

6.电动样品 Z 轴升降及控制器，行程范围10mm，最小行程精度0.5um。移动速率0.001mm/s ~ 1mm/s； 

7.悬臂电动 X/Y 两轴精密位移平台，行程范围 25mm； 

8.样品台电动 X/Y 两轴精密位移平台，行程范围 25mm； 

9.电动调焦显微镜模块； 

10.电动物镜替换模块； 

11.金相显微镜 ：物镜：5X,10X,20X,50X；500 万像素高灵敏度 CMOS 传感器； 

12.可在手套箱环境中工作； 

13.双工位手套箱，尺寸不小于长度：1800mm；深度：1000mm；高度：900mm；在标准状况下，即 20oC 恒温，一个标准大气压，99.999%的惰性气源，并空箱运转下，水氧指标小于 1 ppm； 

14.箱体： 材料：304 不锈钢，厚度 3mm，内表面：不锈钢拉丝处理，外表面： 喷漆，白色； 

15.工作气体：氮气、氩气； 

16.大过渡舱 尺寸：直径 360mm, 长度 600mm；小过渡舱尺寸直径 150mm，长度 300mm。

面向硫族、卤族、黑磷等各种空气中不稳定的二维材料