真空超高质量二维材料转移系统


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系统由快速进样腔、解理腔、低温样品架、解理样品架及光学显微镜组成。操作便捷,借助机械手可实现二维材料解理与转移;解理面原子层级平整度。

1.光学显微镜:进口光学镜头10x,20x,50X变焦;进口CCD相机;电动聚焦;同轴光照明。

2.解理腔:超高真空腔体55316不锈钢材质;高强度铝合金支架,大滚轮,便于移动;具有加热处理和温度控制功能;超高真空环境解理,真空度优于5X10-10mbar;配置液氮制冷,最低温小于120K。

3.低温样品架:手动升降、旋转;温度范围100K-300K;同时停放至多42个样品托。

面向高温超导、低温超导等对真空度要求高的二维材料,如BISCCO,铁基,铜基,kagome