金相显微超高质量二维材料转移系统


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1.显微单元:LV-FM手动聚焦臂;LV-TT2三目镜筒;LV-UEPI-N落射照明单元;5孔明暗物镜转换器;5x,10x明场物镜,20x,50x长焦明暗场物镜;50W卤素灯;590万像素DS-Fi3摄像头;NIS-Elements专业图像分析软件;台式主机和23.8英寸显示器。

2.衬底载物台:XY轴直线滚珠结构,行程25mm,10um/刻度,直线度3um,平行度15um;绕Z轴旋转台360°粗调±5°微调,千分尺最小读数小于0.1°/刻度;载物台具有真空吸附和加热功能,PID控制最高温度200℃。

3.载玻片转移台:XY轴正交薄型大台面导轨结构,13mm行程,10um/刻度,游标读数1um;Z轴交叉滚子导轨结构,直线度3um,10mm行程,10um/刻度,千分尺0.5mm/圈;三轴倾斜旋转台,倾斜和旋转三个自由度±4°调节;可真空吸附的载玻片和小尺寸样片转移操作杆。

4.面向石墨烯、氮化硼等空气稳定的二维材料,外加高精度定位、扭角功能

5.选配手套箱