热壁喷淋式化学气相沉积设备
用于石墨烯、碳纳米管、过渡金属材料等高质量材料及其他薄膜材料的制备和生长。
特点：
· 多路独立气体管路，喷淋头进气模式
· 多温区控制，最高1200℃，连续工作温度最高1100℃
· 可水平和垂直工艺结构
· 加热区尺寸：长度x直径200mmx100mm（可定制）
· 多压力模式（常压，低压等）一键生长
· 自动送样系统，工艺距离自由可调
· 极限真空10-3Torr
· 触摸屏操作，完整的安全互锁功能
· 提供多种气源、固源、液源