掩膜板

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品名	尺寸（mm）			技术规格（um）
	长	宽	厚	基板材质	最小线缝		误差精度
掩膜板3英寸	76.2	76.2	1.6	苏打玻璃	2	≤W	士0.3
掩膜板4英寸	101.6	101.6	2.3	苏打玻璃	2	≤W	士0.3
掩膜板5英寸	127	127	2.3	苏打玻璃	2	≤W	士0.3
掩膜板7英寸	177.8	177.8	3	苏打玻璃	2≤W ≤5		士0.3
掩膜板7英寸	177.8	177.8	3	苏打玻璃	5	≤W	士0.3
掩膜板9英寸	228.6	228.6	3	苏打玻璃	2	≤W	士0.3
掩膜板5英寸	127	127	2.3	石英玻璃	2	≤W	士0.2
掩膜板6英寸	152.4	152.4	6.4	石英玻璃	2	≤W	士0.2
高精度掩膜板4英寸	101.6	101.6	2.3	苏打玻璃	1	≤W	士0.15
高精度掩膜板5英寸	127	127	2.3	苏打玻璃	1	≤W	士0.15