按客户需求,可阵列化Au, Ag, Pt, Cu, Ti, Al等各类金属在硅片、石英、蓝宝石衬底,各种尺寸需求可定制。
1.1 4寸晶圆叉指电极阵列,单元尺寸10x13mm,65对叉指,10um指宽,5um间距
1.2 4寸晶圆三电极阵列,单元尺寸10x13mm,10对三电极
1.3 4寸晶圆霍尔电极阵列,单元尺寸10x13mm